主要规格及技术指标

真空度可达5*10E-3，约1个小时左右，所用靶材：直径80mm，采用直流、射频方式溅射镀膜，500W射频源，1KW、2KW直流源。

主要功能及特色

可采用直流和射频两种方式溅射镀膜，分别或者同时溅射。

主要附件及配置

无