主要规格及技术指标

真空度可达1-5Pa，采用石英玻璃样品管，300W微波源，微波耦合的方式产生等离子体，2路进气管路。

主要功能及特色

利用微波等离子体化学气相沉积的方式制备薄膜。

主要附件及配置

无