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仪器详情
电子束曝光系统
仪器编号
20163393
规格
机械工程学院
生产厂家
874900
型号
KYKY-EM6900
制造国家
北京中科科仪股份有限公司
分类号
放置地点
机械馆
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2025-10-22
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
（1）最大输出功率为3kW；（2）加速电压0-30kV可调，探针电流0-2000nA；（3）二级全自动真空系统，主泵为分子泵，样品室真空度可达3×10-3Pa；（4）样品台可沿x、y轴移动和沿Z轴360°旋转，最大样品直径φ175mm，最大样品高度35mm，样品台有碰撞报警功能。
主要附件及配置
能够对样品表面进行高分辨率成像，通过二次电子探测器和背散射电子探测器等，可清晰观察样品的表面形貌、组织结构等特征。可对特定光刻胶进行曝光实现图案成形。电子枪采用翻开式设计，方便用户更换灯丝。采用成熟的Gemini光学系统设计，具有超高分辨率，分辨率超过0.8nm，可实现微小粒子、表面、纳米结构、薄膜、涂层和多层的形貌观察及图像处理。
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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