1 发射源:肖特基热场发射电子枪
2 图像分辨率:0.7nm @15kv1.1nm @1kv/500v(非样品台减速模式)
3 探针电流范围:3pA-40nA
4 加速电压范围:20v-30Kv,10v/step 连续可调
5 放大倍数范围:8x-2,000,000x
6 工作距离(WD)范围:0.1mm-50mm
7 分析工作距离:8.5mm
8样品台类型:5轴优中心马达驱动样品台,移动范围:X方向0mm-130mm,Y方向0mm-130mm,Z方向0mm-50mm,倾斜角度-4°-70°,旋转角度360°。
9 最大样品尺寸:175mm(直径),XY平面内可以全部观察到。
10 配备探头:SE2,EsB,Inlens,6分区抽插式BSD,EDAX Octane Elite EDS,edax velocity super -EBSD
11 配备原位力学分析部件
该设备是一台分析型热场发射扫描电镜,主要用于金属材料的观察与分析,如微观形貌观察、能谱分析、EBSD分析,以及力热耦合分析。
EDS EBSD 力学台
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